ISBN/价格: | 978-7-5629-6979-2:CNY98.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 420000 |
题名责任者项: | 真空镀膜技术与应用/.田灿鑫主编 |
出版发行项: | 武汉:,武汉理工大学出版社:,2024 |
载体形态项: | 234页:;+24cm |
相关题名附注: | 封面英文题名:Vacuum coating technology and application |
提要文摘: | 本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上,着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等,紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容,最后阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。 |
并列题名: | Vacuum coating technology and application eng |
题名主题: | 真空技术 镀膜 |
中图分类: | TN305.8 |
个人名称等同: | 田灿鑫 主编 |
记录来源: | CN ZJXH 20240527 |